元素半导体是指仅由一种元素组成的半导体材料。它们都处于Ⅲ族～Ⅶ族的金属与非金属的交界处。元素半导体因由单一元素组成，故在纯度、结构完整性和均匀性方面都优于其他材料，制造工艺和应用都较为成熟。其中应用最广的为硅、锗和硒等。