物理干扰是在样品雾化及传送过程中，因黏度及表面张等性质之改变，尤其若样品中含有高溶解度固体或酸度过高时，则易造成明显之分析误差，利用蠕动帮浦将可降低这类干扰；若类干扰仍存在时必须将样品稀释或利用标准添加法予以修正。此外，含高浓度盐类在喷雾器上沉积而影响分析结果，可将样品稀释或利用喷嘴洗涤器以减少。而氩气流量之大小亦会影响仪器之最好使用流量控制器。