光谱分析仪器的分析的过程是将被测物质的试样引入光源中，给以外界的能量，使试样蒸发成气态原子，并且使气态原子的外层电子由低能态激发至高能态，处于高能态的原子很不稳定要跃迁至基态或低能态，便产生了辐射。由于被分析试样中含有不同的原子就会产生不同波长的辐射，对于所产生辐射经过摄谱仪进行分光就会在感光板上得到按波长顺序排列的有规则的谱线，通过仪器的观察辨认各种特征波长的谱线存在情况就是光谱定性分析。