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单轴倾角传感器的原理
作者:上海昕瑞专卖 发布于:2018-01-09 10:18:15 点击量:
单轴倾角传感器的原理
单轴倾角传感器是依据加速度传感器倾斜后的角度与重力加速度成函数关系的原理来测量倾角的。加速度传感器是建造在硅晶片顶部的表面MEMS多硅结构。多晶硅簧片悬浮在晶片表面的结构,并提供一个克服加速度感应力的阻力。用包含两个独立的固定板和一个与运动质块相连的中央板形成的差动电容器机构来测量比例于加速度的多硅结构的偏转,从而产生电压输出信号。
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